布魯克斯brooks質量流量控制器

質量流量控制技術，前所未(wei)有的過程精度(du)

為真正實現對(dui)每個過(guo)(guo)程(cheng)的控制(zhi)，用戶(hu)必須精確(que)測量進行中的過(guo)(guo)程(cheng) — 范圍涉及饋線(xian)、倉室等每一(yi)處 — 然后利(li)用所得到的實時信息確(que)保(bao)過(guo)(guo)程(cheng)準(zhun)確(que)按照目標執(zhi)行并達到目標產率。

作為一家在(zai)液體精(jing)確測量(liang)與控制(zhi)方面全球領先(xian)的企(qi)業，布(bu)魯(lu)克斯(si)儀器數十(shi)年(nian)來不(bu)斷堅(jian)持創新熱(re)質量(liang)流量(liang)技術，推出新產品并不(bu)斷提升現(xian)有(you)(you)系統性(xing)能以(yi)突破(po)現(xian)有(you)(you)熱(re)質量(liang)流量(liang)技術在(zai)準確性(xing)、響應速度、精(jing)度和(he)重(zhong)現(xian)性(xing)方面的限制(zhi)。

布魯克斯質量流量設備在全球得到廣泛應用的關鍵原因：

擁有業內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求

創(chuang)新型(xing)(xing) MultiFlo? 技術可使一臺設(she)備完成氣(qi)體類型(xing)(xing)和量(liang)程(cheng)的(de)切換工(gong)作(zuo)并且(qie)無需從(cong)系統(tong)中拆(chai)除設(she)備，同(tong)時還能(neng)夠提升過程(cheng)氣(qi)體的(de)測量(liang)準(zhun)確性

產品范圍全面(mian)，包(bao)括彈性體密(mi)封和金屬密(mi)封選件

超高純(chun)度(du)設(she)備，專為(wei)滿足薄膜(mo)、半導體以及其(qi)他高科(ke)技行業(ye)需(xu)求而設(she)計(ji)

關鍵應用

熱處理、切割(ge)等(deng)其他熱過程

半導體和 LED 生產工具

薄膜淀積系統

用(yong)于生物制藥的生物反應器

石(shi)化(hua)和化(hua)工氣體(ti)和液體(ti)試驗工廠

吹掃氣體、過程分析和(he)分析用流量測定